Projekte
Forschungsprojekt zur integrierten Technologie für hocheffiziente Zuführung und Dotierhebung beim Einkristallofen
Dieses Projekt zielt darauf ab, eine kollaborative Steuerungstechnologie zu entwickeln, die effiziente Zuführung, präzise Dotierung und intelligente Hebetechnik integriert, um die Schwachstellen geringer Effizienz, hoher Verluste, unzureichender Gleichmäßigkeit und empfindlicher Ofenkörper bei den schrittweisen Zuführ- und Dotierarbeiten in der Monokristall-Siliziumproduktion zu beheben. Durch die Optimierung der Zuführstruktur und der Dotiermengensteuerung wird eine nahtlose Prozessintegration erreicht, um die Produktionseffizienz zu steigern, die Produktqualität zu sichern und die Kosten zu senken.
Forschung zu Schlüsseltechnologien für das Heben des Tiegelträgers und den Schutz beim Ofenabbau im Einkristallofen
Das Projekt konzentriert sich auf die Probleme mangelnder Stabilität beim Heben von Tiegelträgern im Einkristallofen sowie deren Empfindlichkeit beim Ausbau und entwickelt hochpräzise Hebe- und Prozessschutztechnologien. Durch die Optimierung der Übertragungsstruktur und der geschlossenen Regelung kann der Positionierungsfehler auf ≤ 0,1 mm verbessert werden. Zudem wird ein System aus abgestufter Kühlung und flexiblem Schutz aufgebaut, um die Leistung inländischer Einkristallofenanlagen zu steigern und Siliziummaterialverschmutzung sowie Geräteschäden zu verhindern.
Forschung zur Technologie des Trennens von Kristallstäben ohne Kantenabbrüche
Ziel dieses Projekts ist es, die Probleme von Kantenabbrüchen, Rissen und Oberflächenschäden während des Trennprozesses von Kristallstäben zu lösen. Durch die Entwicklung einer präzisen Kraftregelung für das Trennen und einer Schutztechnologie zur Pufferung von Kerben, die Optimierung von Werkzeugstruktur und Prozessparametern sowie die Zusammenarbeit mit intelligenten Überwachungssystemen erreichen wir ein Trennen ohne Kantenabbrüche und Risse, verbessern die Ausnutzung der Kristallstäbe und die Ebenheit der Kerben und senken die nachfolgenden Verarbeitungskosten.
